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電子級過氧化氫

??超凈高純電子級過氧化氫是微電子行業中一種十分重要的高純試劑,主要用作半導體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于高級絕緣層制取,電鍍液無機雜質去除,電子行業中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽能硅晶片的蝕刻和清洗。在處理過程中,試劑中的雜質會對元器件性能產生致命影響,因此,超凈高純過氧化氫對純度的要求非??量?。

序號

項目

指標

HHP-

HHP-

HHP-

HHP-

1

含量(%

30-32

30-32

30-32

30-32

2

氯化物(Cl),ppb,

2000

200

200

30

3

硝酸鹽(NO3),ppb,

-

400

400

30

4

硫酸鹽(SO4),ppb,

5000

200

200

30

5

總有機碳(TOC),ppb,≤

20

20

20

-

6

游離酸(以H2SO4計), ≤

0.6

0.6

0.6

-

7

鈉(Na),ppb,≤

500

10

1

0.1

8

鉀(K),ppb,≤

500

10

1

0.1

9

錫(Sn),ppb,≤

500

10

1

0.1

10

鋁(Al),ppb,≤

500

10

1

0.1

11

鈦(Ti),ppb,≤

200

10

1

0.1

12

金(Au),ppb,≤

200

10

1

-

13

鉛(Pb),ppb,≤

200

10

1

0.1

14

鈣(Ca),ppb,≤

200

10

1

0.1

15

鐵(Fe),ppb,≤

100

10

1

0.1

16

鎂(Mg),ppb,≤

100

10

1

0.1

17

鋅(Zn),ppb,≤

100

10

1

0.1

18

硼(B),ppb,≤

100

10

1

0.1

19

鉻(Cr),ppb,≤

50

10

1

0.1

20

銅(Cu),ppb,≤

50

10

1

0.1

21

錳(Mn),ppb,≤

50

10

1

0.1

22

鎳(Ni),ppb,≤

50

10

1

0.1

23

鎘(Cd),ppb,≤

-

10

1

0.1

24

鋰(Li),ppb,≤

-

10

1

0.1

25

銻(Sb),ppb,≤

-

5

1

0.1

26

砷(As),ppb,≤

-

5

1

0.1

27

鋇(Ba),ppb,≤

-

10

-

0.1

28

鈷(Co),ppb,≤

-

10

1

-

29

鉬(Mo),ppb,≤

-

10

1

-

30

銀(Ag),ppb,≤

-

10

1

-

31

鍶(Sr),ppb,≤

-

10

1

-

32

鈮(Nb),ppb,≤

-

10

-

-

33

鎵(Ga),ppb,≤

-

10

-

-

34

鍺(Ge),ppb,≤

-

10

-

-

35

鈹(Be),ppb,≤

-

10

-

-

36

鉍(Bi),ppb,≤

-

10

-

-

37

鉭(Ta),ppb,≤

-

10

-

-

38

鉈(Tl),ppb,≤

-

10

-

-

39

鋯(Zr),ppb,≤

-

10

-

-


皖公網安備 34102402000011號

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